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真空回火爐由主機、真空系統、冷風系統、充氣系統、氣動系統、電氣控制系統和爐外運輸車等組成。主要適用于真空淬火和光亮淬火后回火處理以及低溫退火和時效處理等工藝。

由于回火過程中殘余硬力或組織變化，即拉應力消除，壓應力消除，導致收縮和膨脹，包括回火初期析出的E碳化物的部分收縮，碳鐵熔凝過程中的大量收縮，殘余奧氏體鐵膨脹成疏松鐵，殘余奧氏體鐵膨脹成球墨鑄鐵等。，導致工件回火后變形。

防止回火爐引起工件變形的方法: (1)進行壓力回火處理； (2)采用熱浴或空氣淬火降低殘余應力； (3)采用機械加工方法進行矯正； (4)預留變形等方法。